我院骆晨等教师在微纳结构调控领域取得重要研究进展,相关成果以“In situ structural engineering of two-dimensional nanomaterials at atomic scale”为题,于2025年8月发表在期刊《Materials Science and Engineering: B》上。论文综述了原位透射电子显微技术在原子尺度结构调控方面的最新进展,并结合团队研究实践,提出了提升纳米器件可靠性的可行方案。原文链接:https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S092151072500741X。
随着硅基MOSFET器件尺寸逐渐逼近物理极限,二维层状材料因其原子级厚度和优异电子特性,被视为下一代晶体管技术的重要候选体系。尽管各类二维材料不断涌现,其本征性能局限仍制约实际应用,因此“理性结构设计”与“可预测性能调控”成为当前研究的关键方向,而实现低维材料的高精度结构工程仍面临诸多挑战。
近年来,透射电子显微镜(TEM)因其纳米级操作精度与实时成像能力,为原子尺度结构调控提供了强有力的技术手段。团队围绕原位TEM技术,系统总结了该技术在二维材料结构工程中的应用现状与发展趋势,涵盖了原子缺陷修复、界面调控、相变行为等多个方面,并结合自身在器件可靠性方面的研究成果,提出了面向实际应用的调控策略与优化路径。

(图文:骆晨,审核:李松斌)