近日，我校集成电路科学与工程学院李世雨与密苏里科技大学等单位合作，在IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques上发表论文《In-Plane and Out-of-Plane 2-D Microdisplacement Sensor Based on a Single Microwave Resonator With Machine Learning》（原文链接：https://doi.org/10.1109/TMTT.2024.3510724），无锡学院为第一署名单位，李世雨为第一作者。IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques是微波、射频技术领域的国际顶级学术期刊，为中科院一区Top期刊。该项研究紧密贴合江苏省1650产业体系以及无锡市465现代产业体系中物联网先进产业集群的传感器技术领域。

论文指出，在微电子装配、集成电路与半导体制造、精密光学耦合等工业自动化场景中，微尺度位移的非接触式高精度传感检测至关重要。本研究采用基于同轴电缆的法布里-珀罗结构与作为活动组件的异质反射片，提出并开发了一种基于单个异质反射微波谐振器的二维微位移传感器。采用机器学习方法解耦微波谐振器对二维位移的响应，以独立地高精度量化解调面内和面外的微尺度位移。该项工作有助于进一步开发出基于单谐振器的三维位移传感器，展现出在高精度对准和距离感知场景中的巨大应用潜力。相关技术已申请发明专利。（集成电路科学与工程学院/文：李世雨；图：李世雨；审核：郭业才）